光刻机最核心的部件是镜头，上海微电子研发了10年，才成功量产90nm光刻机

发表于： 2022年2月26日 2022年2月26日
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光刻机的最核心部件为镜头，很多人对这个“玻璃”很不屑，以为不就是一块破玻璃嘛，可打脸的是上微电子2007年就研发成功的国产90NM光刻机，却直到11年后的2018年才能正式量产，问题就是被卡在这个“玻璃”上。

镜头的最大难度：【镜面光洁度】，以目前最顶尖的EUV光刻机为例子，镜头的分辨率要达到5NM，意味着EUV的镜头的镜面光洁度要达到50皮米。这个是什么概念？相当于把整个云南省全部推倒并刮平地面，全省的平整度不能超过1厘米。要实现这个极端要求，必须拥有精度最高的打磨机、颗粒最细的镜头磨料、还得有称为“金手指”的顶级技工。蔡司目前的“金手指”技工团队不到20人，这也是ASML产量不够的根本原因，因为镜头属于标准非球的加工，无法纯机械打磨，必须手工与机械配合。