高端半导体湿法腐蚀设备的产业探索
分享嘉宾
上海提牛机电设备有限公司CEO
葛林武
尊敬的各位领导、各位来宾、各位专家，大家下午好，我是来自上海提牛机电的葛林武，我现在分享一下设备这一块内容。今年中美贸易战以来，我们中兴事件为我们普及芯片的认识，美国一张指令把我们几百亿的投资说卡就卡掉了，而装备材料进口程度依然是非常高的，整个报告分五部分来跟大家一起探讨目前装备的国产情况以及对未来的看法。
1位置和作用
在我们认识装备之前，先了解一下装备在集成电路制造过程中位置以及起什么作用。今天上午也讲到集成电路是1000多道工艺的制造过程，制造芯片分成11种类型，11种类型根据工艺不同又细分几十种，每一种设备又分十种到几十种的功能设备，整个下来有上百个工艺设备要去制造。我本人做湿法清洗，今天主要讲这块。
红色就是芯片制造过程中用的清洗，大约占到60%用到，所以湿法还是蛮关键的技术。在集成电路起到什么作用呢？主要做了两件事情，主要做去颗粒物和金属，颗粒物一些杂志要去去掉的，这要通过不同设备、不同装备去做。湿法去做颗粒和去金属这块。
2设备现状
我讲的国内湿法设备现状，本人来自上海提牛机电，以北方华创和中电科列为国家队，剩下是民营队，下面是美国和日本作为高端主流设备，这就是湿法，不包括11类型其他的方面。从设备的架构上来讲分为单片清洗和槽式清洗，单片清洗一片一片清洗，槽式12寸以上以单片清洗，12寸以下是槽式清洗。国产里面北方华创和上海盛美做单片清洗，其他剩下的都是以做槽式清洗为主。日本DNS引领国际潮流，美国的LAM也开始进军单式清洗，所以在8寸高装占到一定的地位。
看一下照片，简单讲一下。手动式目前国产装备基本上能满足，但是到8英寸和12英寸高端的情况下，全自动国产化率就非常低。目前，我们国家公司是有4台设备在运行，整个国内全自动8英寸估计也是以个数状态运行，所以国产化在高端方面还是非常低。
3问题机遇
我们接下来再来聊一下面临的问题和机遇。就是说既然是有这么短缺，也是我们未来的机会。目前，我们国内金属材料包括塑料材料，一些纯度达不到要求，另外加工工艺精度不能满足半导体装备的需要，我们航空航天都已经做的很好、很厉害，那在半导体装备这块，为什么就没有这么高的要求，达不到那么高的要求呢？目前我们也问了很多跟国内很多精加工企业去了解、去找他们帮忙做加工。目前国内0.05毫米以上这个还可以，但是集成电路是要在0.01，像个是50片，50片下去整个不能出现任何的故障率，我们上海几百万次的运行要求是0故障，所以对材料精度要求非常高。
第二个现在遇到的问题原料的材料、基本材料国内满足非常低，全部依赖进口。我们作为生态链，整个作为盱眙生态链，我觉得非常好，在这块是我们内地城市的机会，因为装备和设计、制造是在一线城市，二三线做基础材料是有机会，现在有一些企业讲国产经营状况不好，或者方向怎么样，把这个做好我觉得日子会过的很好。刚才讲到材料我想多点一点，螺丝和阀门国内都没有办法满足，刚才讲到对应的颗粒度和纯度，以及安全的运行系数，所以说这块材料我们国内还是需要再提高。
其实今天大家一直都在讲“人”，人是关键因素，我这里面也提到人。前面中兴国际讲人首选是金融和投资领域，其次去阿里巴巴、腾讯这种互联网公司，再去华为、小米科技公司，再到集成电路装备公司，其实到最后才到装备这边来，装备产业还是很能吸纳人，我们要求相对来讲没有像集成电路制造那么高，对装备制造领域不需要统统博士和研究生，一些大中专生也可以到装备行业来。一些电器、电控，包括流体、力学等专业都能到装备制造行业。
4认识与提高
阻碍国产装备的过程，我们陈总也讲到包容性，其实像装备来讲几百万次运行零故障，对装备的容忍性也是比较低，我们未来装备设备免关税，而我们制造装备的原材料全部依赖进口，这些材料不免关税，我们国产装备材料成本是没有优势的，也只有刚才照片提到前面那些把整个这种原材料，整个落地化和国产化，半导体生态链健全才是整个成本下降，才是不会被国外卡脖子的情况。
接下来也是国产化，包括国产半导体生态链所面临的问题，就是我们这些年有几点建议，加大研发力度，对服务意识以及产品质量的提升，这也是对民营企业最建议度更高。特别是民营企业没有太多的资金支持的话，所以说未来包括国际在这个三方面提高是未来国产化必经之路。我们同时也非常感谢我们更多的客户能给予理解和判断，以及试错机会。国产装备、国产材料在不断应用和发展之中才能成长和完善。
最后，在开会之前有投行交换名片，其实我们还是需要资本的关注，只有资本市场推动下才是对实体制造企业，特别装备制造企业。集成电路大部分创业以技术为导向，很少说是懂得资本的输出和资本的推动。从爆发性和增长性、规模性，我想有目共睹，今天已经讲的比较多，就不去再多讲。也希望更多资本能够关注基础装备的发展。据一个协会预测2018年在118亿美金，所以还是不错的。
既然讲到资本的话跟大家汇报一下利润，百分之十几的净利润没有问题，如果说刚才那些基础的精加工和元器件能够满足集成电路装备要求的话，那利润空间还是会再加大一些，虽然增长性没有办法从百分之几蹦到几十，但是在漫长的过程，要做到亏钱也是蛮难的，16%的对一些蛮好，对个人来讲利润空间可以再拉大，只有更高的利润才能更多研发、更多改善员工生活和引领更多人进入这个行业来。
5未来展望
今天讲的到LED面板材料、光伏产业等很多都是依靠进口，对于设备个性化和定制化越来越强、越来越明显，各有各的绝活，所以对设备定制和设备个性要求是未来越来越多，这也是未来一个趋势。第二个趋势看到是跨产业组合和多种产品组合，在光伏、LED、航空航天很多也是用到清洗设备的，其中用到材料也要用到这些装备；第二个多种产品组合，可以多做几款设备，多做一些上下链的产品组合，这种情况下形成多元化或者平衡风险。有些没有办法平衡、没办法多组合资本情况下去做合并，但是我想这也是未来一个很重要的发展趋势。
第三个国家大的政策情况下，我觉得还是进入快车道发展。因为随着往实体高端装备制造发展过程当中，未来在政策和人才，以及各方面的整条链行业会进入很快的发展，这也是对行业、国计民生非常利好的信息。装备进口达到97%以上，现在我们也是被倒逼发展，我们只要把事情做好，相信我们未来会越来越好。明年推出科创版，我相信在装备领域里面，11大类型细分目前1、2个亿，2019年会有一大批客户会登陆科创版，这是对未来看法的一些情况。
我大概就讲这些，谢谢大家！
本文内容来自“2018中国半导体生态链大会暨半导体生态链核心基地与产业支撑中心成立大会”会议资料，经嘉宾允许，作者将内容进行整理发布，原创版权所有，转载必须授权。
