且看ASML员工如何看某为制造光刻机

发表于： 2022年3月25日 2022年3月25日
分类：未分类

“是说芯语”已陪伴您936天

转自：SEMI智造

某为被爆投资造EUV光刻机？ASML的一位员工用最简单的方式对此进行了解读。

没错，这位大佬现在就在ASML研发传说中的光刻机，主要工作就是研发新一代的EUV光刻机的光源，全方位地提高EUV光的发光功率（所谓写写代码，做做测试，看看数据？）。

其实很早之前便有消息传出某为投资造EUV光刻机，但一直未得到证实，该消息的曝出也让许多人震惊了一下，某为这次的规划和布局是什么样的呢？换言之，某为造光刻机这事儿靠谱吗？

据这位大佬称，某个月黑风高的夜晚，这位大佬和某个内部颇有分量的人士进行了一场亲切友好坦诚的交流，尽管出于某些原因不能谈及技术上的细节，但是作为业内人士，仍然能够绕过这些敏感的话题进行精神层面的沟通与交流。最终的结论是靠谱！当然这种敏感性话题都会受到或多或少的限制，所以可以看到Up主的视频画面受到了公司的限制。

道德经有云，“治大国如烹小鲜”，天下万事万物的道理都可以用煮鱼来说清，所以Up主就以清蒸鲈鱼为例对这件事做出了评析。

首先是“食材”。清蒸鲈鱼需要葱姜蒜、生抽、老抽、鲈鱼等，而制造光刻机需要有激光器、光照、扫描镜、等离子体控制器、系统控制器等一系列部件，而好的光刻机需要有大功率的激光器、无瑕疵的光罩、高反射率的扫描镜、精准的等离子体控制器以及稳定安全的系统控制器。用大功率激光轰击锡的液滴，释放极端紫外光，而后用等离子体控制器调整激光和液滴的各个参数，获得最大功率的EUV极短紫外光，然后再经反射镜、扫描镜、光罩，投影于硅片。

制造EUV光刻机的难点有两个方面：首先，配件要齐全，包括德国的激光器、日本的光罩、荷兰的反射镜、美国的控制器；其次是设计整合。设计上要将各个部件都有机结合起来，同时还要考虑如何使替换方便，维修容易，整个系统安全可控，最关键的是整个系统的精密程度和稳定性；整合上，需要考虑到各个部件都要在超静、无尘、防震乃至真空的环境下进行调试测试整合。

对比某为和ASML做光刻机的区别，对于ASML来说，除了几个核心部件，大部分的部件可以直接从国际市场采购，而某为制造光刻机，就如同在美国做出原汁原味的清蒸鲈鱼，没有章丘大葱、云南野生香菇，更重要的是没有松江的新鲜鲈鱼。因此某为做清蒸鲈鱼真正的难处不在厨艺，而在巧妇难为无米之炊。中国无法购买基本的部件，都需要自主研发制造。

这一局面早在30年前便已产生，1996年，在美国的操纵下，以西方国家为主的33个国家签署了《瓦森纳协定》，协定中禁止中国从西方购入任何与前沿半导体高科技相关的产品，所以中国在光刻机领域的落后不仅仅因为早年资金缺乏，技术储备不足，更重要的是整个国际或整个西方世界对中国的打压和封锁。

按照Up主所说，以清蒸鲈鱼为参考，某为目前正处于挖鱼塘、种葱姜、养香菇的阶段。虽然这让人觉得距离国产光刻机之路尚且很远，但相比于之前武汉弘芯，这一举动让人觉得更加可靠。之前的武汉弘芯项目是怎么不靠谱的呢？它请来了一位“顶级厨师”-蒋尚兴，却无视了自己连一条鲈鱼都没有的事实，然后四处跟人说他们找来了顶级厨师哦，他的手艺天下一绝，投资就能端上美味的“清蒸鲈鱼”。

武汉弘芯的案例也获得了部分网友的调侃，更有网友分享了自己的第一份工作便是武汉弘芯，人还没去，公司便倒闭的悲惨事迹。

那么造出国产光刻机至少还需要多久呢？Up主用了两个案例作为参考。第一个是北斗系统，2004年，欧盟以安全问题为由，将中国从伽利略系统的合作项目中踢出，使得中国不得不进行自主研发，走独立自主道路。2020年7月30日，北斗三号系统正式开通，中国从2004年自主研发技术开始，至2020年比肩甚至超过GPS全球定位系统用了大概16年。第二个项目是航空母舰，1998年中国从乌克兰买下了瓦良格号的航空母舰空壳，而后花费了大致14年的时间，于2012年将其改装成辽宁舰交付给中国海军。

虽然这两个类似的价值和参考意义受到质疑，这两个先例的参考意义在于其相似点，包括两个方面：第一，都是大系统项目，需要完整产业链来支持，并且中国在决定自主研发前几乎是一片空白；第二，欧美在这项目上的技术陷入了停滞，很长时间没有革命性的技术进步。而EUV光刻机的制造也具备这两个特点，它是由十万多个零部件构成的大系统，并且大部分国内无法自主生产。另一方面，光刻机也在某种程度上陷入了停滞，受到物理极限的限制，很难再出现革命性的大进步，因此，中国差不多需要15年才能追赶上来。这与ASML总裁Peter wennink 的想法不谋而合，他在接收采访时表示，只要15年，中国便可以进行自主生产，届时ASML将失去所有中国市场。